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晶圆UV解胶机

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晶圆UV解胶机用于半导体晶圆制程中UV减粘胶带的解胶工序:晶圆在切割、研磨等环节由UV减粘胶带固定,加工完成后通过紫外线照射使胶层失去粘性,以便无损取下晶圆。该工序对照射均匀性、能量控制以及洁净度与静电防护有较高要求。

本栏目介绍晶圆UV解胶的设备配置、UVLED光源选择、能量与时间控制要点,以及与前后道工序的衔接。设备咨询:0755-28995058。

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