三昆LED固化设备制造商谈论UVLED光源的新曝光

据中科院重庆绿色智能技术研究院相关项目负责人介绍，光刻机是液晶面板制造设备中投资份额最大的关键设备。 它的关键技术一直受到外国公司的控制，限制了该行业的发展。 为了打破国外光刻设备在LCD面板行业的垄断地位，讨论了电子信息领域的先进技术 三昆科技LED固化设备制造商UVLED光源新曝光
    根据中国科学院的数据据重庆绿色智能技术研究院相关项目负责人介绍，光刻机是液晶面板制造设备中投资份额最大的关键设备。 其关键技术一直受到外国公司的限制，制约了该行业的发展。 为了打破国外在液晶面板行业中光刻设备的垄断，响应电子信息领域对先进技术，节能环保的低成本曝光设备的需求，中国科学院重庆研究所 美国科学院基于UVLED光源，突破LED/LD光学扩展量解决方案和束角变换理论，LED多自由曲面精密配光技术，紫外波段自由曲面无机光学元件批量生产，对新型曝光模块进行了研究。 技术，光电机电系统集成等多项关键技术，成功开发了微电子光刻的“两个”?十二英寸UVLED平行光曝光模块”和“ 5KW，8KW，tenKW汞灯替换UVLED光源模组”系列PCB产品， 液晶面板，触摸屏等光刻设备的产品强度，均匀性等多项关键指标均优于国外原厂配置，并可以 实现了两条um生产线的生产。 产品技术已达到国际领先水平。 目前，研发团队已与重庆方正，深南电路等大型企业达成合作协议，与企业合作完成光刻设备的升级改造。 市场上此类光刻设备5万余台，产值将超过50亿元。

 据报道，我国已加入《水am公约》，并禁止在2021年之前进出口和生产含汞商品。该项目“开发和应用低成本光刻工艺和液晶面板设备 “开发UVLED光源模组为大势所趋，以高效，节能，环保UVLED阵列为曝光光源，通过自由曲面的精确配光和复眼均匀配光方案，大 区域高强度均匀曝光，对现有的光刻机汞光源进行了升级改造。 仅从电费上计算，每UVLED设备每年就可为公司节省约8万元的使用成本。 如果将目前市场上的5万盏汞灯雕刻设备全部升级，每年可节省电费40亿元。 以上产品已申报15项专利，其中2项已获发明专利授权。 为应对当前的机遇和挑战，在“重庆液晶面板行业共同关键技术创新主题专项”的大力支持下，重庆研究院与重庆光电股份有限公司，重庆邮电大学合作 计划将UVLED光源系统引入LCD平板光刻设备中，以“增强LCD面板相关公司的盈利能力和竞争力，促进重庆LCD面板产业的长远发展”为目标 专注于开发用于LCD面板制造的低成本光刻工艺和设备。

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